Tikslinė santykinės drėgmės vertė puslaidininkių (FAB) švarioje patalpoje

Tikslinė santykinės drėgmės vertė puslaidininkių (FAB) švarioje patalpoje yra maždaug nuo 30 iki 50 %, todėl galima siaura ±1 % paklaida, pvz., litografijos zonoje, arba dar mažesnė tolimojo ultravioletinio apdorojimo (DUV) atveju. zonoje – o kitur galima atpalaiduoti iki ±5 proc.
Kadangi santykinė drėgmė turi daugybę veiksnių, galinčių sumažinti bendrą švarių patalpų našumą, įskaitant:
1. Bakterijų augimas;
2. Kambario temperatūros komforto diapazonas personalui;
3. Atsiranda elektrostatinis krūvis;
4. Metalo korozija;
5. Vandens garų kondensacija;
6. Litografijos degradacija;
7. Vandens sugėrimas.

Bakterijos ir kiti biologiniai teršalai (pelėsiai, virusai, grybai, erkės) gali klestėti aplinkoje, kurioje santykinė oro drėgmė didesnė nei 60%.Kai kurios bakterijų bendruomenės gali augti esant didesnei nei 30% santykinei oro drėgmei.Bendrovė mano, kad drėgmė turėtų būti kontroliuojama nuo 40% iki 60%, o tai gali sumažinti bakterijų ir kvėpavimo takų infekcijų poveikį.

Santykinė oro drėgmė nuo 40 % iki 60 % taip pat yra vidutinė žmogaus komforto riba.Dėl per didelės drėgmės žmonės gali jaustis tvanku, o esant žemesnei nei 30 % drėgmei, žmonės gali jaustis išsausėjusia, skilinėjančia oda, kvėpavimo diskomfortu ir emociniu nelaimingumu.

Didelė drėgmė iš tikrųjų sumažina elektrostatinių krūvių kaupimąsi švarios patalpos paviršiuje – tai norimas rezultatas.Maža drėgmė idealiai tinka krūviui kaupti ir gali būti žalingas elektrostatinės iškrovos šaltinis.Santykinei oro drėgmei viršijus 50%, elektrostatiniai krūviai pradeda sparčiai sklaidytis, tačiau kai santykinė oro drėgmė mažesnė nei 30%, jie gali ilgai išlikti ant izoliatoriaus ar neįžeminto paviršiaus.

Santykinė oro drėgmė nuo 35 % iki 40 % gali būti naudojama kaip patenkinamas kompromisas, o puslaidininkių švariose patalpose paprastai naudojami papildomi valdikliai, siekiant apriboti elektrostatinių krūvių kaupimąsi.

Daugelio cheminių reakcijų, įskaitant korozijos procesus, greitis didės didėjant santykinei oro drėgmei.Visi paviršiai, veikiami oro aplink švarią patalpą, yra greiti.