Tikslinė santykinės drėgmės vertė puslaidininkinėje (FAB) švarioje patalpoje

Tikslinė santykinės drėgmės vertė puslaidininkių (FAB) švarioje patalpoje yra maždaug 30–50 %, leidžianti siaurą ±1 % paklaidos ribą, pavyzdžiui, litografijos zonoje, arba dar mažesnę tolimųjų ultravioletinių spindulių apdorojimo (DUV) zonoje, o kitur ji gali būti sumažinta iki ±5 %.
Kadangi santykinė oro drėgmė turi daug veiksnių, kurie gali sumažinti bendrą švarių patalpų našumą, įskaitant:
1. Bakterijų augimas;
2. Kambario temperatūros komforto diapazonas darbuotojams;
3. Atsiranda elektrostatinis krūvis;
4. Metalo korozija;
5. Vandens garų kondensacija;
6. Litografijos degradacija;
7. Vandens absorbcija.

Bakterijos ir kiti biologiniai teršalai (pelėsiai, virusai, grybeliai, erkės) gali klestėti aplinkoje, kurioje santykinė oro drėgmė yra didesnė nei 60 %. Kai kurios bakterijų bendruomenės gali augti esant didesnei nei 30 % santykinei oro drėgmei. Bendrovė mano, kad oro drėgmė turėtų būti kontroliuojama 40–60 % intervale, nes tai gali sumažinti bakterijų ir kvėpavimo takų infekcijų poveikį.

Santykinė oro drėgmė nuo 40 % iki 60 % taip pat yra vidutinis diapazonas žmonių komfortui. Per didelė drėgmė gali sukelti tvankumą, o mažesnė nei 30 % drėgmė gali sukelti sausumą, odos suskirdimą, kvėpavimo takų diskomfortą ir emocinį nelaimingumą.

Didelė drėgmė iš tikrųjų sumažina elektrostatinių krūvių kaupimąsi ant švarios patalpos paviršiaus – tai pageidaujamas rezultatas. Žema drėgmė idealiai tinka krūvių kaupimuisi ir yra potencialiai žalingas elektrostatinės iškrovos šaltinis. Kai santykinė drėgmė viršija 50 %, elektrostatiniai krūviai pradeda greitai išsisklaidyti, tačiau kai santykinė drėgmė yra mažesnė nei 30 %, jie gali ilgai išlikti ant izoliatoriaus arba neįžeminto paviršiaus.

Santykinė oro drėgmė nuo 35 % iki 40 % gali būti tinkamas kompromisas, o puslaidininkių švariose patalpose paprastai naudojami papildomi valdikliai, siekiant apriboti elektrostatinių krūvių kaupimąsi.

Daugelio cheminių reakcijų, įskaitant korozijos procesus, greitis didėja didėjant santykinei oro drėgmei. Visi paviršiai, veikiami oro aplink švariąją patalpą, yra greiti.