Antrinė grįžtamojo oro schema oro kondicionavimo sistemai

Mikroelektronikos dirbtuvėse su santykinai mažu švarios patalpos plotu ir ribotu grįžtamojo oro kanalo spinduliu buvo pritaikyta antrinė oro kondicionavimo sistemos grįžtamojo oro schema. Ši schema taip pat dažnai naudojamašvarūs kambariaikitose pramonės šakose, pavyzdžiui, farmacijos ir medicininės priežiūros srityse. Kadangi vėdinimo tūris, atitinkantis švarios patalpos temperatūros drėgmės reikalavimus, paprastai yra daug mažesnis nei vėdinimo tūris, reikalingas švaros lygiui pasiekti, todėl tiekiamo ir grįžtančio oro temperatūrų skirtumas yra mažas. Jei naudojama pirminė grąžinamo oro schema, temperatūros skirtumas tarp tiekiamo oro būsenos taško ir oro kondicionavimo įrenginio rasos taško yra didelis, reikalingas antrinis šildymas, todėl oro apdorojimo procese atsiranda šalto šilumos poslinkis ir suvartojama daugiau energijos. . Jei naudojama antrinio grąžinamo oro schema, antrinis grįžtamasis oras gali būti naudojamas pakeisti pirminio grąžinamo oro schemos antrinį šildymą. Nors pirminio ir antrinio grąžinamo oro santykio reguliavimas yra šiek tiek mažiau jautrus nei antrinės šilumos reguliavimas, antrinio grąžinamo oro schema buvo plačiai pripažinta kaip oro kondicionavimo energijos taupymo priemonė mažose ir vidutinėse mikroelektronikos švarios dirbtuvėse. .

Kaip pavyzdį paimkite ISO 6 klasės mikroelektronikos švaros dirbtuvę, švarios dirbtuvės plotas 1 000 m2, lubų aukštis 3 m. Interjero projektiniai parametrai yra temperatūra tn= (23±1) ℃, santykinė oro drėgmė φn=50%±5%; Projektinis oro padavimo tūris 171 000 m3/h, apie 57 h-1 oro mainų laikas, o gryno oro tūris 25 500 m3/h (iš kurių proceso išmetamo oro tūris 21 000 m3/h, o likusi dalis teigiamo slėgio nuotėkio oro tūris). Protinga šilumos apkrova švariame ceche yra 258 kW (258 W/m2), oro kondicionieriaus šilumos ir drėgmės santykis ε=35 000 kJ/kg, o į patalpą grįžtančio oro temperatūrų skirtumas – 4,5 ℃. Šiuo metu pirminis grąžinamas oro tūris
Tai šiuo metu dažniausiai naudojama valymo oro kondicionavimo sistema mikroelektronikos pramonėje švarioje patalpoje, šio tipo sistemas daugiausia galima suskirstyti į tris tipus: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (sausa ritė) +FFU. Kiekvienas turi savo privalumų ir trūkumų bei tinkamų vietų, energijos taupymo efektas daugiausia priklauso nuo filtro ir ventiliatoriaus bei kitos įrangos veikimo.

1) AHU+FFU sistema.

Šio tipo sistemos režimas naudojamas mikroelektronikos pramonėje kaip „oro kondicionavimo ir valymo fazės atskyrimo būdas“. Gali būti dvi situacijos: viena yra ta, kad oro kondicionavimo sistema veikia tik gryną orą, o apdorotas grynas oras neša visą švarios patalpos šilumos ir drėgmės apkrovą ir veikia kaip papildomas oras, subalansuojantis išmetamą orą ir teigiamo slėgio nuotėkį. švarios patalpos ši sistema dar vadinama MAU+FFU sistema; Kitas dalykas yra tai, kad vien gryno oro kiekio nepakanka švarios patalpos šalčio ir šilumos apkrovos poreikiams patenkinti, arba todėl, kad grynas oras apdorojamas iš lauko būsenos iki rasos taško specifinis reikiamos mašinos entalpijos skirtumas yra per didelis. , o dalis patalpų oro (atitinka grįžtamąjį orą) grąžinama į kondicionavimo apdorojimo įrenginį, sumaišoma su grynu oru šilumos ir drėgmės apdorojimui, o po to siunčiama į oro tiekimo kamerą. Sumaišytas su likusiu švarios patalpos grįžtamuoju oru (atitinka antrinį grįžtamąjį orą), jis patenka į FFU įrenginį ir siunčia jį į švarią patalpą. 1992–1994 m. antrasis šio straipsnio autorius bendradarbiavo su Singapūro įmone ir paskatino daugiau nei 10 magistrantūros studentų dalyvauti kuriant JAV ir Honkongo bendrą įmonę SAE Electronics Factory, kuri panaudojo pastarojo tipo valymo oro kondicionavimą ir vėdinimo sistema. Projekte yra ISO 5 klasės švari patalpa, kurios plotas yra maždaug 6000 m2 (1500 m2 iš jų sudaryta Japonijos atmosferos agentūros). Oro kondicionavimo patalpa įrengta lygiagrečiai švarios patalpos pusei išilgai išorinės sienos ir tik greta koridoriaus. Gryno oro, išmetamo oro ir grįžtamojo oro vamzdžiai yra trumpi ir išdėstyti sklandžiai.

2) MAU+AHU+FFU schema.

Šis sprendimas dažniausiai randamas mikroelektronikos gamyklose, kuriose keliami įvairūs temperatūros ir drėgmės reikalavimai bei dideli šilumos ir drėgmės apkrovų skirtumai, taip pat aukštas švaros lygis. Vasarą grynas oras atšaldomas ir sausinamas iki fiksuoto parametro taško. Paprastai gryną orą tikslinga apdoroti iki izometrinės entalpijos linijos ir 95 % santykinės drėgmės linijos sankirtos taško švarioje patalpoje, kurioje yra reprezentatyvi temperatūra ir drėgmė, arba švarios patalpos su didžiausiu gryno oro kiekiu. MAU oro tūris nustatomas pagal kiekvienos švarios patalpos poreikius papildyti orą ir paskirstomas į kiekvienos švarios patalpos AHU vamzdžiais pagal reikiamą šviežio oro kiekį ir sumaišomas su šiek tiek grįžtamo oro į patalpą šilumai ir drėgmės apdorojimas. Šis įrenginys neša visą šilumos ir drėgmės apkrovą bei dalį naujos reumato apkrovos švarioje patalpoje, kurioje jis aptarnauja. Kiekvieno AHU apdorotas oras siunčiamas į tiekiamo oro srautą kiekvienoje švarioje patalpoje, o po antrinio sumaišymo su grįžtamu patalpų oru, FFU blokas siunčia į patalpą.

Pagrindinis MAU+AHU+FFU sprendimo privalumas yra tas, kad jis ne tik užtikrina švarą ir teigiamą slėgį, bet ir užtikrina skirtingas temperatūras bei santykinę drėgmę, reikalingą kiekvieno švaraus kambario proceso gamybai. Tačiau dažnai dėl įrengtų oro apdorojimo įrenginių skaičiaus užima didelis patalpos plotas, švarus kambarys grynas oras, grįžtamasis oras, oro tiekimo vamzdynai kryžmiškai kertasi, užima didelę erdvę, išplanavimas yra sudėtingesnis, priežiūra ir valdymas yra sunkesnis. ir sudėtingas, todėl nėra jokių specialių reikalavimų, kiek įmanoma, kad būtų išvengta naudojimo.